Elektrostaatiline kaitse pooljuhtide tootmisel
Pooljuhtide tootmisprotsessis on vajalik staatilise elektri vältimine ja juhtimine. Kui staatilise elektri ärahoidmist ja juhtimist ei teostata, tekivad sellised probleemid nagu osakeste reostus, elektrostaatilise väljalaske põhjustatud pooljuhtide kahjustused ja seonduvad seadmed. Staatilise elektri vältimise ja juhtimise programm pooljuhtide tootmisprotsessis sisaldab: maandust, staatilisi hajuvaid materjale ja õhuionisatsiooni neutraliseerimise ioone. Pooljuhtide tööstuse kiire arengu poolt pakutavate nõuete täitmiseks muutuvad pidevalt ka staatilised hajuvad materjalid ja õhuionisaatorid.
Staatilise juhtimise vajalikkus pooljuhtide tootmisel
Pooljuhtide tootmise valdkonnas on staatilise elektri negatiivsete mõjude täielik kõrvaldamine võimatu. Isegi staatilise kaitse korral on toote kõrge kvaliteedi ja saagikuse säilitamine keeruline. Kuid kui puudub staatiline juhtimine, osakeste reostus, elektrostaatilise väljalaske kahjustus ja seadmete rike, on need probleemid ränisisalduste ja fotomaskide valmistamisel, pooljuhi ees puhtas ruumis ning allavoolu hõlmavates protsessides, sealhulgas kokkupanek, pakendamine ning lõplik testimine ja saatmine. See võib juhtuda igal ajal, mõjutades tõsiselt pooljuhttoodete kvaliteeti.
Pooljuhtide staatilise juhtimise meetod
Pooljuhtide tootmiskeskkonnas, olgu siis ees puhtas ruumis või tagumises katses, kokkupanekus ja pakendis, tuleks kasutada juhtmete ja staatiliste hajutavate materjalide maandust. Maandus takistab isoleeritud juhtmete ja staatiliste hajutavate materjalide staatilise elektri tekkimist. Kui need materjalid kannavad staatilist elektrit, võivad nad ka staatilise elektri ära võtta. Igal juhtival materjalil, sealhulgas personalil, seadmetel, tehase pindadel (põrandad, seinad, laed ja tööpinnad) ning toodetel peaks olema usaldusväärne maandus. Neid maandusklemme tuleks regulaarselt kontrollida. Mõned maandamata juhid on tavaliselt staatilise voolu allikad.
Staatilised hajuvad materjalid hajutavad staatilisi laenguid, säilitades samal ajal teatud isoleermaterjalide omadused (näiteks paindlikkus ja keemiline vastupidavus). Kui need on usaldusväärselt maandatud, ei hoia nad staatilist laengut. Mõnes rakenduses (näiteks lauaarvutid või testpesad) võivad need materjalid asendada juhimaterjale. Nendes rakendustes võivad nad kokku puutuda elektrostaatiliselt laetud toodetega. Staatiliste hajutavate materjalide kõrge vastupidavus (tavaliselt vahemikus 10 ^ 4 kuni 10 ^ 11 oomi) võib elektrostaatilise tühjendamise kahjustuste vältimiseks laengu liikumise protsessi aeglustada. Staatilisi hajuvaid materjale tuleb regulaarselt kontrollida ja testida. Paljud neist materjalidest ei ühildu puhaste ruumidega ja staatilised hajuvad omadused muutuvad aja jooksul, mistõttu tuleb nende kasutamisel õigesti valida.