Milline on staatilise elektri oht IC-pakenditele
Milline on staatilise elektri oht IC-pakenditele? Esiteks võib staatilise elektri põhjust näha kõikjal. Teaduse ja tehnoloogia kiire arengu ning tööstustoodangu automatiseerimise kõrge taseme tõttu on staatilise elektri ohud tööstuslikus tootmises juba ilmsed. See võib põhjustada erinevaid takistusi, piirata automatiseerimise taseme paranemist ja mõjutada toote kvaliteeti. Siin on staatilise elektri tootmise peamised põhjused koos meie tehase tegeliku olukorraga integraallülituse pakendamisel ja tootmisprotsessis.
1. Kõrge vastupidavusega materjale kasutatakse enamasti ehitus- ja sisustusmaterjalidena tootmistöökodades
IC tootmisprotsess nõuab puhta töökoja või ülipuhta töökoja kasutamist. Tolmu eemaldavate osakeste osakeste suurust tuleb muuta eelmiselt 0,3 μm-lt 0,1 μm-le ja tolmuosakeste tihedus on umbes 353 osakest/m3. Selleks tuleb tolmu vältimiseks lisaks erinevate tolmukogumisseadmete paigaldamisele kasutada anorgaanilisi ja orgaanilisi tolmuvabu materjale. Ehitusmaterjalide elektrilist toimivust ei peeta siiski indikaatoriks. Tööstusettevõtete puhaste töökodade projekteerimistingimustes ei ole sätet. IC-tehase puhtas töökojas kasutatavad sisekujundusmaterjalid on: polüuretaan elastne põrand, nailon, kõva plast, polüetüleen, plastikust tapeet, vaik, puit, valge portselanist plaat, email, krohv ja nii edasi. Enamik eespool nimetatud materjalidest on polümeerühendid või isolaatorid. Näiteks pleksiklaasist keha resistiivsus on 1012 ~ 1014Ωcm ja polüetüleenist keha resistiivsus on 1013 ~ 1015ncm. Seetõttu on juhtivus suhteliselt halb. Staatiline elekter mingil põhjusel ei ole nende kaudu lihtne maale lekkida, mis põhjustab staatilise elektri kogunemist.
2, inimkeha staatiline elekter
Puhta ruumi operaatorite erinevad tegevused ja edasi-tagasi kõndimine, kingade ja maapinna tallad on pidevalt tihedas kontaktis ja eraldatuses ning inimkeha erinevad osad on samuti aktiivsed ja hõõrduvad. Olenemata sellest, kas tegemist on kiire kõndimise, aeglase kõndimise või trottingiga, tekib staatiline elekter, mis on nn kõndimislaeng; inimkeha tõuseb pärast liikumist püsti. , Inimkeha ja tooli pinna poolt kantud tööriided eraldatakse pärast tooli pinnaga kokkupuutumist ning tekib ka staatiline elekter. Kui inimkeha elektrostaatilist pinget ei ole võimalik kõrvaldada ja IC-kiipi puudutatakse, võib see põhjustada IC-riket teadmatult.
3. Kliimaseadmetest ja kliimaseadmete puhastamisest tulenev staatiline elekter
Kuna IC tootmine nõuab 45–55% RH-d, tuleb rakendada kliimaseadet ja teostada samal ajal õhu puhastamine. Niisutatud õhk saadetakse puhtasse ruumi läbi esmase filtri, keskmise tõhususega filtri, kõrge kasuteguriga filtri ja õhukanali. Üldiselt on peamise õhukanali tuule kiirus 8~ 10 m/s ja õhukanali sisesein on värvitud. Kui kuiv õhk ja õhukanal, kuiv õhk ja filter liiguvad üksteise suhtes, tekib staatiline elekter. Tuleb märkida, et staatiline elekter on niiskuse suhtes tundlikum. Lisaks toodab pooltoodete ja IC-toodete transport pakendamise ja transpordi ajal staatilist elektrit, mis on üks staatilise elektri tegureid.
Teiseks on staatiline elekter IC-le väga kahjulik. Üldiselt on staatilisel elektril suure potentsiaaliga ja tugeva elektrivälja omadused. Elektrostaatilise laadimise ja tühjendamise protsessis moodustub mõnikord mööduv kõrgvoolu tühjenemine ja elektromagnetiline impulss (EMP), tekitades laia spektriga elektromagnetkiirgusvälju. Lisaks on elektrostaatiline energia võrreldes tavapärase elektrienergiaga suhteliselt väike. Loodusliku elektrifitseerimise-tühjenemise protsessis on elektrostaatilise tühjenemise (ESD) parameetrid kontrollimatud ja see on juhuslik protsess, mida on raske korrata. Seetõttu mõjutavad inimesed sageli selle rolli. Ignoreerida. Eriti mikroelektroonika tehnoloogia valdkonnas on kahju, mida see meile põhjustab, hämmastav. Aruannete kohaselt on staatilise elektri põhjustatud otsene majanduslik kahju igal aastal koguni mitusada miljonit jüaani. Staatilise elektri kahju on muutunud mikroelektroonika tööstuse arengu peamiseks takistuseks.
Pooljuhtseadmete tootmise töökojas väheneb kiibi tolmu adsorptsiooni tõttu oluliselt ICde, eriti väga suuremahuliste integraallülituste (VLSI) saagikus. IC-tootmise töökoja operaatorid kannavad puhast kombinesooni. Kui inimkeha laetakse staatilise elektriga, on tolmu ja mustust lihtne absorbeerida. Kui need tolmud ja mustus tuuakse tegevuskohta, mõjutab see toote kvaliteeti, halvendab toote jõudlust ja vähendab oluliselt Ic-i. Saagis. Kui adsorbeerunud tolmuosakeste raadius on suurem kui 100 μm ja joone laius on umbes 100 μm, kui kile paksus on alla 50 μm, lammutatakse toode kõige tõenäolisemalt.