Elektrostaatilise pinge kahjustus pooljuht- ja IC-tootmisliinidel
1. Elektrostaatiline pinge pooljuht- ja IC-tootmisliinidel
1 kandes nailonrõivaid, plastikust alusjalatsid liiguvad aeglaselt puhtal põrandal, inimkeha toob 7KV-8KV pinge
2 Kui klaaskiust valmistatud kristallihoidja liugub üle polüpropüleenist laua, on 10KV staatilist elektrit lihtne toota.
3 vahvelihendusliin: 5KV vahvel, 35KV vahvel, kandekast 35KV, 10KV töölaud, 10KV plekkklaas, 8KV pleksiklaasikate, kvarskristall 1,5KV, 6KV plaatplaat
4 litograafia plastikpõrand 500V-1000V, metallvõrgu põrand on ka 500V-1000V, difusiooni ruumi plastpõrand 500V-1500V plaatpõrand on ka 500V-1500V, plastist seinapind on umbes 700V, plastikust lakke 0-1000V, alumiiniumist plaadi õhu väljalaskeava, tagasivooluõhu väljalaskeava 500V-1000V, metalli teisaldatav nahktooli pind 500V-3000V
2. Elektrostaatilised ohud pooljuht- ja IC-tootmisliinidel
1 Elektrostaatilise Coulombi jõu oht: elektrostaatilise Coulombi jõuga adsorbeerunud tolm ja mustus võivad tuua kaasa komponente, mis võivad põhjustada lekkeid või lühise, mis võib kahjustada jõudlust ja vähendada oluliselt saagist. Kui tolmu osakeste suurus on> 100 μm, on alumiiniumtraadi laius umbes 100 μm ja kile paksus on alla 50 μm, toode on kõige tõenäolisemalt lammutatav. See juhtub peamiselt korrosiooni puhastamise, fotolitograafia, kohapealse keevitamise ja pakendamise protsessides.
2 Elektrostaatilise laengu tekitatud oht: kui tuhandeid kümneid tuhandeid suure potentsiaaliga esemeid, impulssvoolu või sädemekoormust, kui maapinnale voolab väga suur väljavooluvool, siis pulsitaoline voolutugevus on moodustatud 20A juures. põhjustades märkimisväärset mõju, kaasneb elektrostaatilise laenguga (ESD) ka elektromagnetlainete emissioon, mis põhjustab erinevaid ohte.
A, MOSIC ja muud pooljuhtseadmed on elektrostaatiliselt tühjendatud (ESD) või pooljaotus. MOS-i välismõjuga transistori värav eemaldatakse oksiidikile ja oksiidikile asetatakse värava ja substraadi vahele. Kui pinge ja substraadi vaheline pinge ületab teatud väärtuse, laguneb oksiidikile, kui MOSIC, siis kõik on lammutatud. Kui pinge rakendatakse UB = 50-100 V, laguneb oksiidikile, sest värava mahtuvus on väga väike (umbes paar picofaradi) ja sisendresistentsus on väga kõrge (umbes 1014Ω või rohkem). Väike kogus laengut tekitab väga kõrge pinge ja laengut on raske vajuda. Niikaua kui see on suurem kui 50 V (kaitse puudub), põleb see välja. Seega, kuni inimene puudutab võrku, siis see komponent puruneb, sest inimestel on tavaline, et nad võtavad rohkem kui 50 V. .
Saame aru integraallülituste tundlikkusest staatilisele elektrile. Erinevate kiipide erinevus on see, et nad suudavad taluda erinevaid staatilisi pinge väärtusi. Praktilistes tingimustes on peaaegu 20 V staatiline pinge otse seadmega kontaktis, et hävitada või halvendada jõudlust.
Elektrostaatiline tühjenemine kahjustab komponente, et muuta kogu trükkplaat kasutuks, põhjustades majanduslikke kahjusid;
Elektrostaatilise tühjenemise müra põhjustab seadme talitlushäireid või talitlushäireid ja kaudset heidet. Kondensaatori tühjenemise mõõtmise tulemus, lisaks suure transientvoolu impulsi genereerimisele, tekitab ka tugevat müra mitme megahertsi või isegi sadade hertide vahel. Viimastel aastatel on elektrostaatilise väljalaske müra põhjustatud arvutipõhiste rikete alusuuringud teinud suuri edusamme.
Kui tühjenemise käigus tekkinud elektromagnetlained sisenevad vastuvõtjasse, tekib müra, mis häirib signaali, et vähendada teabe kvaliteeti või põhjustada teavitusvigu.
3, elektrostaatilise induktsiooni oht
Staatilise elektriga tekitatud objekt on täielikult laetud kehaga samaväärne ja seal on elektrostaatilised nähtused ja tühjenemise nähtused. Kui andurobjekti takistus on väike hea juht, siis tekib sädemekatse ja tekib kahju.
A. Tootmistöökojas.
Kõrgepingeseadmete ja -liinide läheduses, kui töötajad kasutavad elektrostaatilise induktsiooni tõttu keevitus-, MOS- või MOSSI-seadmeid, on inimese keha elektrostaatiline tühjenemine seadme külge lihtne tekitada, kahjustades seega seadet.
B. Torujuhtme kaudu transporditav õhu konditsioneerimine (ioonvool) on samaväärne laadimisega, kui inimkeha puhub. Kui inimkeha puutub kokku tundlike komponentidega, laguneb elektrostaatiline tühjenemine kahjustatud seadme.
4. Elektrostaatiline oht elektroonikaseadmete tootmisprotsessile
Kõik masina tootmise aspektid kannatavad elektrostaatiliste kahjustuste all. Peamised lingid on: seadmete hankimine ja transport; seadmete kontrollimine ja vastuvõtmine tehasesse; seadmete ladustamine ja korjamine; seadme sisestamine ja jootmine; toote kokkupanek ja kontroll; toote pakendamine ja tarnimine.
Lisaks staatilise elektri hävitamisele elektrooniliste komponentide ja elektroonikaseadmete tootmise ajal on see ka toote kasutamise ajal staatiline elekter. Kokkuvõtteks võib öelda, et staatilise elektri tekitatud kahju on piisav, et põhjustada elektrooniliste seadmete ja elektrooniliste seadmete jõudlust ja elektrooniliste seadmete ja seadmete kahjustusi ei saa eirata.